GCE Products for COVID-19 CHECK IT OUT close
Введение » AERA PI-980 SERIES

AERA PI-980 SERIES

Группа: 4960

Благодаря применению ведущей технологии измерения расхода, нечувствительные к давлению регуляторы массового расхода серии Aera PI-980 предвосхищают растущую потребность полупроводниковых производственных технологий следующего поколения, в т.ч. травления, CVD (химического осаждения из газовой фазы), PVD (физического осаждения из паровой фазы) и диффузии из газовой фазы.

КОНСТРУКТИВНЫЕ ОСОБЕННОСТИ

  • Режим работы нечувствителен к давлениям
  • Высокая точность и повторяемость компонентов, встраиваемых в панель газоснабжения
  • Конфигурация, сертифицированная для работы со свежим газом, с несколькими газами и в нескольких диапазонах
  • Программируется в условиях эксплуатации
  • DeviceNet, RS-485 или аналогичный вариант управления
  • Цельнометаллические уплотнения и конструкция, обеспечивающая высокую чистоту

ПРЕИМУЩЕСТВА

  • Улучшенные характеристики подачи газа и повышенная производительность
  • Простота интеграции при установке
  • Существенная экономия на стоимости панели газоснабжения
  • Сокращение места, занимаемого панелью газоснабжения
  • Управление и связь в режиме реального времени
  • Сервисная и клиентская служба мирового класса
Загрузки Вверх

Скачать дополнительную информацию по этому Продукту

Acrobat Logo Aera_PI-980_leaflet_English.pdf
Live Chat