SAM® 1480/2480 G2

Модели серии G2 удовлетворяют требованиям полупроводниковой отрасли будущего поколения.

КОНСТРУКТИВНЫЕ ОСОБЕННОСТИ

• Возможность выбора различных газов и различных диапазонов работы
• Функция запорного вентиля
• Функция самокалибровки

ПРЕИМУЩЕСТВА

• Сокращение времени, необходимого на продувку газом
• Полное перекрытие подачи газа
• Объем утечки газа составляет лишь 1/10 по отношению к этому же показателю для стандартной комбинации (регулятор массового расхода и пневматический клапан)
• Снижение пульсаций газа
• Один регулятор массового расхода может работать с двумя и более типами газа и в нескольких диапазонах
• Потребность в специальном оборудовании ограничивается лишь несколькими моделями
• Сокращение капитальных затрат и расходов на инвентарь
• Сохранение эффективности при переходе на другой газ